Inert Atmosphere -uunit, joita kutsutaan myös anaerobisiksi uuneiksi, on suunniteltu lämpökäsittelyyn käyttämällä hapettamattomia kaasuja, kuten typpeä, suljetussa ympäristössä. Se soveltuu lämpökäsittelyyn alhaisen happipitoisuuden ilmakehässä.
Kuvaus
Inert Atmosphere Oven -sarjaa käytetään puolijohdevalmistuksessa piikiekkojen, galliumarsenidin, litiumniobaatin, lasin ennen PR-pinnoitusta, kovakalvopaistamiseen PR-pinnoituksen jälkeen ja korkean lämpötilan paistamiseen kehittämisen jälkeen; Se soveltuu myös tuotantoon ja tieteelliseen tutkimusosastoon, kuten elektroniseen nestekidenäyttöön, LCD:hen, CMOS:iin, IS:ään ja laboratorioihin; Sitä voidaan käyttää myös haihtumattomien, syttymättömien ja räjähtämättömien esineiden kuivaamiseen, lämpökäsittelyyn, vanhentamiseen ja muihin korkean lämpötilan testeihin.
Pääparametrit
►Tekniset parametrit
Kapasiteetti: Räätälöity tuotteiden mukaan
Lämpötila-alue: Ympäristö +50°C ~ 250°C
Happipitoisuus: ≤50 ppm
Lämpötilan tasaisuus: ±2,5 %
Nousunopeus: Ohjattavissa
Typen sisääntulo: Φ8
Typen virtaus: 0-240L/min * 2 kanavaa
► Rakenne
. Uunin sisäpuoli: Valmistettu ruostumattomasta teräksestä ja saumaton argonkaasulla hitsattu.
. Hermeettisesti suljettu: Kammio on suljettu happipitoisuuden vähentämiseksi.
. Ilmanottorakenne: Antaa hapettamattomien kaasujen täyttää kammion.
. O2-analysaattori: Säädä happitasot tarkasti välillä 0,5–21 %
► Lämpötilan säätöjärjestelmä
Älykäs JAPAN RKC lämpötilansäädin, ohjelmat ja kiinteän arvon asetus, AT automaattinen viritys, offset-korjaus ja virrankatkaisun säilyttäminen.
► Pakotettu ilmankierto
Kuuman ilman kiertojärjestelmän patentoitu ilmakanava voi automaattisesti säätää lämpötilan yhtenäisyyttä.
Ominaisuudet anaerobisille (inerteille) uuneille
► Hermeettisesti suljettu ruostumattomasta teräksestä valmistettu studio estää ulkoilman pääsyn sisään
► Käytä anaerobiseen lämpökäsittelyyn inerttiä typen kaasua
► Virtausmittari ja painemittari on varustettu
► Monipuoliset turvalaitteet
Vaihtoehdot
► PLC+7” ohjelmoitava ohjain
► Kolmivärinen vilkkuva valohälytys
► Ylilämpötilan rajoitin
► Manuaaliset turvalaitteet
Miksi valita Inert Atmosphere -uunit?
Nykyään piirien johdotusmateriaalit ovat siirtyneet alumiinista kupariin, jonka resistiivisisyys on pienempi. Siksi kupariosat voivat hapettua, kun lämpökäsitellään normaalissa kuivausuunissa, mikä aiheuttaa vikoja. Lisäksi suoritetaan myös 250 asteen vanhennus, jossa tarkistetaan, onko flash-muistiin kirjoitettu tieto hävinnyt sähkömigraatiosta johtuen ja ovatko iskuosat hapettuneet, joten happipitoisuus tulee laskea alle 100 ppm. Tämä anaerobinen uuni on kehitetty vastaamaan näihin vaatimuksiin.
Sovellus
Inert Atmosphere Ovens -uuneja käytetään pääasiassa BPO-liiman/PI-liiman/BCB-liiman kovettumiseen, IC:iin (kiekko, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD:hen, korkean tarkkuuden elektronisiin komponentteihin ja muihin materiaaleihin vähähappisessa ympäristössä kuivaus- ja ikääntymistokeissa. .